| 品牌 | PBT(BOYISH) |
|---|---|
| 型號(hào) | PBT-650**清洗機(jī) |
| 加工定制 | 是 |
產(chǎn)品詳情:
名稱(chēng)：晶元清洗機(jī)
品牌：PBT (BOYISH)
型號(hào)：PBT-650
設(shè)備特點(diǎn)：
▲可更換清洗吸盤(pán)，可使用4-12英寸的清洗吸盤(pán)；
▲操作程序可按作業(yè)需求編寫(xiě)調(diào)整，設(shè)備運(yùn)行流程、清洗時(shí)間及各項(xiàng)參數(shù)可自行編制；
▲設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)及參數(shù)在線(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控，自動(dòng)門(mén)配有安全光柵，保證操作安全；
▲采用真空吸附式清洗盤(pán)，晶元夾具的取放更安全、方便；
▲擺臂式清洗，清洗范圍可編制，適用范圍廣、無(wú)清洗盲區(qū)、無(wú)二次污染，清洗效果更佳；
▲設(shè)備清洗室全密封，且配有自動(dòng)擋水圈，有效防止二次污染；
▲高速離心設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)100-2000R/Min；
▲配備獨(dú)特的靜電消除裝置，輔助清洗達(dá)到最佳效果，可選擇使用氮?dú)猓?br />▲設(shè)備配有大面積透明觀(guān)察窗；
▲縮減寬度的省空間設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間??；
▲整機(jī)鏡面不銹鋼機(jī)身，能耐酸堿，對(duì)工作環(huán)境無(wú)污染，鏡面機(jī)殼易于保養(yǎng)。
適用領(lǐng)域：
采用高速離心設(shè)計(jì)，主要使用于4-12英寸的硅晶圓片的精密清洗；搭配二流體清洗、靜電消除/氮?dú)?、高速離心等裝置，使被清洗件達(dá)到干燥、潔凈的目的。
工作原理：
放入物料---一鍵清洗開(kāi)始，安全門(mén)自動(dòng)關(guān)閉---二流體清洗---離心脫水（去靜電離子風(fēng)與加熱腔體輔助干燥)---清洗完畢---報(bào)警提示---玻璃門(mén)自動(dòng)打開(kāi).
技術(shù)參數(shù)：
| 設(shè)備外觀(guān)尺寸 | 620mm（L）×760mm（W）×1600mm（H） | |
| 清洗盤(pán)規(guī)格 | 4-12英寸（可選） | |
| 清洗盤(pán)尺寸 | 定制 | |
| 純水入口徑 | 外徑Ø8mm純水軟管 | |
| 排水出口徑 | 3/4″軟管 | |
| 氣源入口徑 | Ø12mm PU氣管 | |
| 排風(fēng)口口徑 | 2.5″皮管接頭（75mm外徑） | |
| 電源供應(yīng) | AC220V; 50HZ ;5A | |
| 總功率 | 1.5KW | |
| 耗電量 | 清洗時(shí): 1.5kw/h | |
| 氣源供應(yīng) | 0.45-0.7Mpa | |
| DI水供應(yīng) | ＞0.35Mpa | |
| 清洗壓力 | 3.8-8Kgf/cm2 | |
| 離心轉(zhuǎn)速 | 100-2000R/Min | |
| 傳動(dòng)馬力 | 1HP | |
| 純水消耗量 | 0-1000ML/Min | |
| 氣體消耗量 | 200-500L/Min | |
| 空氣過(guò)濾方式 | 一級(jí)0.01μm除油過(guò)濾器；二級(jí)0.01μm精密過(guò)濾器 | |
| 環(huán)境過(guò)濾方式 | 0.3μm；99.99% | |
| 機(jī)器凈重 | 約200KG | |
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