| 型號 : | OTFC-1550 | 新舊程度 : | 9成新 |
| 設(shè)備所在地 : | 東莞茶山 | 設(shè)備生產(chǎn)產(chǎn)地 : | 日本 |
| 產(chǎn)品數(shù)量 : | 1 |
工廠轉(zhuǎn)讓一臺日本OTFC-1550真空電鍍膜機(jī)使用范圍:介質(zhì)膜及金屬膜光學(xué)元件鍍膜
真空室：SUS304,Ф1550*1800MM
工件架：Ф1400
工件架轉(zhuǎn)速：10rpm to 30rpm (可變)
光學(xué)膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A
光學(xué)膜厚監(jiān)控儀：波長范圍: 350nm to 1100nm |反射式/透射式
水晶式膜厚計(jì)：XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器
蒸發(fā)源：電子2套
離子源：17cmRF離子源
排氣系統(tǒng)：機(jī)械泵2個，擴(kuò)散泵Polycold (或2個冷凝泵)
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性能
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達(dá)到壓力：7. 0X10-5Pa以下
排氣時間：20分(大氣壓~1. 3X 10-3Pa)
基板溫度： 高: 350C
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工作條件
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設(shè)備尺寸：藥500m00) x 7200m(D)X53700mm
電源：3相, 200v, 50/ 60Hz,約120KVA
水流量：180升/分以上
空氣壓力：0.5MPa以上
重量：約11000kg
